高精度電容位移傳感器,位移傳感器的精密測(cè)量解決方案
A C C U M E A S U R ET M 電容探頭
用于 ACCUMEASURETM 系列
可以選擇標(biāo)準(zhǔn)的探頭和定制的探頭
Dprobe.cdr03.10.2014Rev1.0
CT R（徑向帶連接頭類(lèi)型）
探頭上有一個(gè)SMA 接頭，連接線(xiàn)和SMA 接頭相連，并且線(xiàn)纜
從探頭徑向方向伸出.
安裝徑向出線(xiàn)類(lèi)型探
頭示意圖
SMA 接頭
側(cè)視圖
ILR（徑向出線(xiàn)類(lèi)型）
低噪聲高柔韌性的硅樹(shù)脂線(xiàn)纜集成在ILR 類(lèi)型探頭側(cè)邊，線(xiàn)纜
從徑向方向伸出高精度電容位移傳感器,位移傳感器
SMA 接頭 仰視圖
1 米長(zhǎng)線(xiàn)纜
Max. ?= 9mm
CT A（軸向帶連接頭類(lèi)型）
探頭上有一個(gè)SMA 接頭，連接線(xiàn)和SMA 接頭相連，并且線(xiàn)纜
從探頭軸向方向伸出
安裝軸向出線(xiàn)類(lèi)型
探頭示意圖
SMA 接頭
側(cè)視圖
ILA（軸向出線(xiàn)類(lèi)型） 低噪聲高柔韌性的硅樹(shù)脂線(xiàn)纜集成在ILA 類(lèi)型探頭尾端，線(xiàn)纜
從軸向方向伸出.
SMA 接頭 仰視圖
1 米長(zhǎng)線(xiàn)纜
PSR（方形徑向出線(xiàn)類(lèi)型）
PSR 探頭很薄，低噪聲高柔韌性的硅樹(shù)脂線(xiàn)纜集成在ILR 類(lèi)型
探頭側(cè)邊，線(xiàn)纜從徑向方向伸出
SMA 接頭
安裝方形徑向出線(xiàn)
類(lèi)型探頭示意圖
1 米長(zhǎng)線(xiàn)纜
Dprobe.cdr03.10.2014Rev1.0
μm 0 20 40 60 80 100 120 140
mils 0 1 2 3 4 5 6
被測(cè)物
測(cè)量范圍
產(chǎn)品型號(hào)
測(cè)量范圍 zui小范圍 10Hz RMS 時(shí)的分辨率 zui大的量程
擴(kuò)大倍數(shù)1
5kHz RMS 時(shí)的分辨率 E D L
μm mils μm mils nm μi nm μi mm Inch mm Inch mm Inch
ASP‐25M‐CTR 25 1 1.27 0.05 0.039 0.002 10x 0.137 0.005 1.09 0.043 9.49 0.374 25.50 1.004
ASP‐25M‐ILR 25 1 1.27 0.05 0.039 0.002 9x 0.137 0.005 1.09 0.043 2.39 0.094 9.50 0.374
ASP‐25M‐CTA 25 1 1.27 0.05 0.039 0.002 10x 0.137 0.005 1.09 0.043 6.39 0.251 63.50 2.500
ASP‐25M‐ILA 25 1 1.27 0.05 0.039 0.002 9x 0.137 0.005 1.09 0.043 2.39 0.094 9.50 0.374
μm
mils
0 20 40 60 80 100 120 140
0 1 2 3 4 5 6
產(chǎn)品型號(hào)
測(cè)量范圍 zui小范圍 10Hz RMS 時(shí)的分辨率 zui大的量程
擴(kuò)大倍數(shù)1
5kHz RMS 時(shí)的分辨率 E D L
μm mils μm mils nm μi nm μi mm Inch mm Inch mm Inch
ASP‐50M‐CTR 50 2 2.54 0.10 0.079 0.003 9x 0.275 0.011 1.55 0.061 9.49 0.374 25.50 1.004
ASP‐50M‐ILR 50 2 2.54 0.10 0.079 0.003 4x 0.275 0.011 1.55 0.061 2.89 0.114 9.50 0.374
ASP‐50M‐CTA 50 2 2.54 0.10 0.079 0.003 9x 0.275 0.011 1.55 0.061 6.39 0.251 63.50 2.500
ASP‐50M‐ILA 50 2 2.54 0.10 0.079 0.003 4x 0.275 0.011 1.55 0.061 2.89 0.114 9.50 0.374
μm
mils
0 20 40 60 80 100 120 140
0 1 2 3 4 5 6
產(chǎn)品型號(hào)
測(cè)量范圍 zui小范圍 10Hz RMS 時(shí)的分辨率 zui大的量程
擴(kuò)大倍數(shù)1
5kHz RMS 時(shí)的分辨率 E D L
μm mils μm mils nm μi nm μi mm Inch mm Inch mm Inch
ASP‐125M‐CTR 125 5 6.35 0.25 0.196 0.008 10x 0.686 0.027 2.49 0.098 9.49 0.374 25.50 1.004
ASP‐125M‐ILR 125 5 6.35 0.25 0.196 0.008 2x 0.686 0.027 2.49 0.098 3.99 0.157 9.50 0.374
ASP‐125M‐CTA 125 5 6.35 0.25 0.196 0.008 10x 0.686 0.027 2.49 0.098 6.39 0.251 63.50 2.500
ASP‐125M‐ILA 125 5 6.35 0.25 0.196 0.008 2x 0.686 0.027 2.49 0.098 3.99 0.157 9.50 0.374
μm
mils
0 200 400 600 800 1000 1200 1400
0 10 20 30 40 50 60
產(chǎn)品型號(hào)
測(cè)量范圍 zui小范圍 10Hz RMS 時(shí)的分辨率 zui大的量程
擴(kuò)大倍數(shù)1
5kHz RMS 時(shí)的分辨率 E D L
μm mils μm mils nm μi nm μi mm Inch mm Inch mm Inch
ASP‐250M‐CTR 250 10 12.70 0.50 0.393 0.015 9x 1.373 0.054 3.53 0.139 9.49 0.374 25.50 1.004
ASP‐250M‐ILR 250 10 12.70 0.50 0.393 0.015 2x 1.373 0.054 3.53 0.139 5.59 0.220 9.50 0.374
ASP‐250M‐CTA 250 10 12.70 0.50 0.393 0.015 3x 1.373 0.054 3.53 0.139 6.39 0.251 63.50 2.500
ASP‐250M‐ILA 250 10 12.70 0.50 0.393 0.015 2x 1.373 0.054 3.53 0.139 5.59 0.220 9.50 0.374
μm
mils
0 200 400 600 800 1000 1200 1400
0 10 20 30 40 50 60
產(chǎn)品型號(hào)
測(cè)量范圍 zui小范圍 10Hz RMS 時(shí)的分辨率 zui大的量程
擴(kuò)大倍數(shù)1
5kHz RMS 時(shí)的分辨率 E D L
μm mils μm mils nm μi nm μi mm Inch mm Inch mm Inch
ASP‐500M‐CTR 500 20 25.40 1.00 0.785 0.031 3x 2.746 0.108 5.00 0.197 11.00 0.433 25.50 1.004
ASP‐500M‐ILR 500 20 25.40 1.00 0.785 0.031 2x 2.746 0.108 5.00 0.197 7.99 0.315 9.50 0.374
ASP‐500M‐CTA 500 20 25.40 1.00 0.785 0.031 4x 2.746 0.108 5.00 0.197 11.00 0.433 63.50 2.500
ASP‐500M‐ILA 500 20 25.40 1.00 0.785 0.031 2x 2.746 0.108 5.00 0.197 7.99 0.315 9.50 0.374
μm
mils
0 200 400 600 800 1000 1200 1400
0 10 20 30 40 50 60
產(chǎn)品型號(hào)
測(cè)量范圍 zui小范圍 10Hz RMS 時(shí)的分辨率 zui大的量程
擴(kuò)大倍數(shù)1
5kHz RMS 時(shí)的分辨率 E D L
μm mils μm mils nm μi nm μi mm Inch mm Inch mm Inch
ASP‐1250M‐CTR 1250 50 63.50 2.50 1.963 0.077 2x 6.864 0.270 7.98 0.314 15.50 0.610 25.50 1.004
ASP‐1250M‐ILR 1250 50 63.50 2.50 1.963 0.077 2x 6.864 0.270 7.98 0.314 14.00 0.551 9.50 0.374
ASP‐1250M‐CTA 1250 50 63.50 2.50 1.963 0.077 2x 6.864 0.270 7.98 0.314 15.50 0.610 63.50 2.500
ASP‐1250M‐ILA 1250 50 63.50 2.50 1.963 0.077 2x 6.864 0.270 7.98 0.314 14.00 0.551 9.50 0.374
E
L D Dprobe.cdr03.10.2014Rev1.0
μm
mils
0
0
1000
50
2000 3000 4000 5000
200
6000
100 150 250
產(chǎn)品型號(hào) ASP‐25M‐PSR ASP‐50M‐PSR ASP‐125M‐PSR ASP‐250M‐PSR ASP‐500M‐PSR ASP‐1250M‐PSR ASP‐2500M‐PSR ASP‐5000M‐
測(cè)量范圍 μm
mils
25
1
50
2
125
5
250
10
500
20
1250
50
2500
100
5000
200
zui小測(cè)量范圍 μm
mils
1.27
0.05
2.54
0.10
6.35
0.25
12.70
0.50
25.40
1.00
63.50
2.50
127.00
5.00
254.00
10.00
10Hz RMS 時(shí)的分辨率 nm
μi
0.039
0.002
0.079
0.003
0.196
0.008
0.393
0.015
0.785
0.031
1.963
0.077
3.926
0.155
7.852
0.309
zui大測(cè)量范圍1
9x 4x 2x 2x 2x 2x 2x 2x
5kHz RMS 時(shí)的分辨率 nm
μi
0.137
0.005
0.274
0.010
0.686
0.027
1.372
0.054
2.745
0.108
6.864
0.270
13.728
0.540
27.457
1.081
E mm
Inch
1.09
0.043
1.55
0.061
2.49
0.098
3.53
0.139
4.98
0.196
7.98
0.314
11.25
0.443
15.93
0.627
L mm
Inch
7.50
0.295
7.70
0.303
8.20
0.323
9.00
0.354
10.20
0.402
18.00
0.709
29.75
1.171
42.50
1.673
W mm
Inch
8.00
0.315
8.00
0.315
8.00
0.315
8.00
0.315
8.00
0.315
13.90
0.547
25.40
1.000
38.00
1.496
T mm
Inch
2.50
0.098
2.50
0.098
2.50
0.098
2.50
0.098
2.50
0.098
2.50
0.098
2.50
0.098
5.00
0.197
定位孔的尺寸 2X M2x0.4 2X M2x0.5 2X M2x0.6 2X M2x0.7 2X M2x0.8 2X (4.2 x 1.65, 2.4 通孔)
μm0 1000 2000 3000 4000 5000 6000
mils 0 50 100 150 200 250
被測(cè)物
測(cè)量范圍
產(chǎn)品型號(hào)
測(cè)量范圍 zui小范圍 10Hz RMS 時(shí)的分辨率 zui大的量程
擴(kuò)大倍數(shù)1
5kHz RMS 時(shí)的分辨率 E D L
μm mils μm mils nm μi nm μi mm Inch mm Inch mm Inch
ASP‐2500M‐CTR 2500 100 127.00 5.00 3.926 0.155 2x 13.729 0.541 11.25 0.443 25.00 0.984 25.50 1.004
ASP‐2500M‐ILR 2500 100 127.00 5.00 3.926 0.155 2x 13.729 0.541 11.25 0.443 25.00 0.984 9.50 0.374
ASP‐2500M‐CTA 2500 100 127.00 5.00 3.926 0.155 2x 13.729 0.541 11.25 0.443 25.00 0.984 63.50 2.500
ASP‐2500M‐ILA 2500 100 127.00 5.00 3.926 0.155 2x 13.729 0.541 11.25 0.443 25.00 0.984 9.50 0.374
產(chǎn)品型號(hào)
測(cè)量范圍 zui小范圍 10Hz RMS 時(shí)的分辨率 zui大的量程
擴(kuò)大倍數(shù)1
5kHz RMS 時(shí)的分辨率 E D L
μm mils μm mils nm μi nm μi mm Inch mm Inch mm Inch
ASP‐5000M‐CTR 5000 200 254.00 10.00 7.852 0.309 2x 27.457 1.081 15.93 0.627 38.00 1.496 25.50 1.004
ASP‐5000M‐ILR 5000 200 254.00 10.00 7.852 0.309 2x 27.457 1.081 15.93 0.627 38.00 1.496 9.50 0.374
ASP‐5000M‐CTA 5000 200 254.00 10.00 7.852 0.309 2x 27.457 1.081 15.93 0.627 38.00 1.496 101.60 4.000
ASP‐5000M‐ILA 5000 200 254.00 10.00 7.852 0.309 2x 27.457 1.081 15.93 0.627 38.00 1.496 9.50 0.374
E
L D
方形徑向出線(xiàn)類(lèi)型探頭
Dprobe.cdr03.10.2014Rev1.0
DAQU.cdr02.28.2014Rev1.0
推薦使用探頭的測(cè)量范圍
0.5V 輸出
測(cè)量范圍的10%
4.5V 輸出
2.5V 輸出量程的 90%
量程的50%
探頭參數(shù)
線(xiàn)纜和探頭的使用溫度范圍: ‐130°C (‐202°F) 到 200°C (392°F).
可定制低溫或者高溫探頭，高溫探頭可達(dá)1200°C – 具體需要咨詢(xún)我們，配置這種特殊探頭需要一個(gè)BNC 到SMA 的接頭
連接頭的溫度范圍: ‐65°C (‐85°F) 到 85°C(185°F)
精度1: 在使用一個(gè)已知校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)并且量程X1 的探頭和放大器的情況下，精度高于滿(mǎn)量程的±0.01%
探頭和電纜的互換性: 在沒(méi)有校準(zhǔn)、探頭量程×1 的情況下，線(xiàn)性度可達(dá)± 0.2%
壓強(qiáng)等級(jí)標(biāo)準(zhǔn): 1400kPa (200 psig)即大約14 個(gè)大氣壓
材料: 不銹鋼結(jié)構(gòu)，內(nèi)部沒(méi)有電子元器件
ILA, ILR 和 PSR 型探頭線(xiàn)纜長(zhǎng)度2: 線(xiàn)纜集成在探頭上，需要根據(jù)探頭的形狀和出線(xiàn)的類(lèi)型選擇探頭，線(xiàn)纜長(zhǎng)度可以定制
1 線(xiàn)性度隨著量程的擴(kuò)大而降低，探頭的分辨率約為0 .00000085×頻率的二分之一次方根×量程，噪聲和量程的擴(kuò)大倍數(shù)成正比，量程×2 會(huì)導(dǎo)致分辨率下降一倍，增大平均化處理會(huì)降低噪聲，
但是同時(shí)也會(huì)降低帶寬（參考用戶(hù)手冊(cè)），增加電纜長(zhǎng)度也會(huì)成比例的增大噪聲和降低分辨率。
2 加長(zhǎng)非標(biāo)準(zhǔn)ILA/ILR/PSR 的電纜的長(zhǎng)度，或者購(gòu)買(mǎi)定制的可選的低噪聲延長(zhǎng)線(xiàn)（型錄資料上有相關(guān)信息），延長(zhǎng)線(xiàn)不需要轉(zhuǎn)接頭，因?yàn)樗鼈円呀?jīng)設(shè)計(jì)成SMA 公接母的連接頭。
可選配件
產(chǎn)品描述 產(chǎn)品序列號(hào)
特殊的低噪聲連接線(xiàn) - SMA 公頭 到 SMA 母頭
1 米長(zhǎng)連接線(xiàn) (FEP 材質(zhì)，低噪聲) 8000‐6891‐210
2 米長(zhǎng)連接線(xiàn) (FEP 材質(zhì)，低噪聲) 8000‐6891‐220
4 米長(zhǎng)連接線(xiàn) (FEP 材質(zhì)，低噪聲) 8000‐6891‐240
KD-CH-4D 校準(zhǔn)夾具 8000‐6952
KD-CH-4D 校準(zhǔn)器
精密夾具，固定非接觸式位移傳感器和準(zhǔn)確測(cè)量各
種被測(cè)物相對(duì)于傳感器的位置。它給用戶(hù)提供 了
一個(gè)獲得設(shè)備校準(zhǔn)數(shù)據(jù)的很好的手段
探頭配合放大器
A C C U M E A S U R ET M
系列
真正的數(shù)字式電容位移傳感器
線(xiàn)性度高達(dá)量程的0.01%